下载一种半导体芯片制造用靶材转移装置的技术资料

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本发明公开了一种半导体芯片制造用靶材转移装置,包括传送带,所述传送带的左右两侧均固定连接有固定板,两个所述固定板的侧壁设有固定槽,所述传送带的上侧设有移动板,所述移动板贯穿于固定槽和固定槽滑动连接,所述固定板位于两个固定板之间上下滑动套设有...
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