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本发明公开了一种涂胶显影设备的监测方法，该涂胶显影设备包括涂胶单元、中间单元和手臂传送单元，其中手臂传送单元包括手臂传送单元，该方法包括步骤：将第一晶片传送到中间单元，将第二晶片传送到涂胶单元，并对第二晶片进行涂胶操作；将第二晶片从涂胶单元...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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