下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:41710014

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底,衬底包括第一有源区和第二有源区;在衬底上形成第一栅氧层;对第一栅氧层进行第一退火处理;去除位于第一有源区上的第一栅氧层;在第一有源区和第二有源区上形成初始栅极层;在第二有源区内形成初始体区;对初始体...
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