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本技术涉及一种晶圆升降装置，包括支撑架和驱动部件，支撑架固设有支撑销，支撑销具有至少3个，间隔设置，支撑销用于支撑晶圆；驱动部件包括缸体，缸体内密封且活动连接有活动部，活动部的一端固连于支撑架；活动部将缸体分割为第一腔体和第二腔体，第二腔体...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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