温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种由混合氯硅烷制备纯硅烷的工艺，混合氯硅烷原料通过隔板精馏、吸附、反应精馏和中间冷凝的处理，制备出电子级高纯硅烷产品。通过本发明改进了硅烷生产工艺，提高了歧化反应转化率和硅烷产品品质，降低过程中的能耗和操作费用，该工艺流程能有...
该专利属于中国科学院过程工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院过程工程研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。