下载基于贴装自动角度修正结构的固晶装置的技术资料

文档序号:41707025

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本发明公开了基于贴装自动角度修正结构的固晶装置,属于半导体加工技术领域;本发明包括板基座,板基座外侧通信连接控制面板,板基座顶部设置有中层框架,中层框架内壁上设置有行进气缸,且行进气缸表面设置有孔调机构,孔调机构包括滑动梁和伸缩气缸架,伸缩...
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