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本发明属于光刻胶树脂技术领域,具体涉及一种无金属残留、窄分子量分布的聚苯乙烯衍生物光刻胶树脂前体的制备方法及应用。本发明采用有机催化的活性自由基聚合技术(Reversible Complexed Mediated Polymerizatio...该专利属于烟台先进材料与绿色制造山东省实验室所有,仅供学习研究参考,未经过烟台先进材料与绿色制造山东省实验室授权不得商用。
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本发明属于光刻胶树脂技术领域,具体涉及一种无金属残留、窄分子量分布的聚苯乙烯衍生物光刻胶树脂前体的制备方法及应用。本发明采用有机催化的活性自由基聚合技术(Reversible Complexed Mediated Polymerizatio...