下载电子级五氟乙烷的纯化装置及采用其的纯化工艺的技术资料

文档序号:41702207

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本发明属于五氟乙烷纯化技术领域,具体涉及电子级五氟乙烷的纯化装置及采用其的纯化工艺。包括反应釜,五氟乙烷原料罐、氢气原料罐分别连接反应釜;冷凝器的出料管分两路连接中间罐和二氧化碳吸附器,冷凝器的不凝气排气口连接氢气分离器,氢气分离器顶部连接...
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