【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于五氟乙烷纯化，具体涉及电子级五氟乙烷的纯化装置及采用其的纯化工艺。
技术介绍
1、五氟乙烷，在商业中简称为r125，是一种用途广泛的氟烷烃。其主要应用于制冷剂、发泡剂、灭火剂、清洗剂和刻蚀剂。
2、其中，电子级五氟乙烷对气体纯度要求较高。虽然目前电子级五氟乙烷不存在统一标准，但是从半导体生产厂家可知，电子级五氟乙烷中不能含有五氟一氯乙烷。但是五氟乙烷和五氟一氯乙烷存在共沸，分离难度较大。
3、对于四氯法制备的五氟乙烷，工业中常采用萃取的方法分离五氟乙烷和五氟氯乙烷，但是这种方法无法将五氟氯乙烷彻底去除，难以达到电子级的标准。
4、美国专利us6340781b1介绍了一种催化加氢分离五氟乙烷和五氟一氯乙烷的方法，虽然实现了五氟乙烷和五氟一氯乙烷的分离，但是其实验选择的研究对象并非是工业级五氟乙烷，不能应用于工业级五氟乙烷的纯化。并且该专利描述的工艺只能将氟碳杂质去除到1%以下的水平，不能满足电子级五氟乙烷的生产需要。
技术实现思路
1、针对现...
【技术保护点】
1.一种电子级五氟乙烷的纯化装置，其特征在于，包括五氟乙烷原料罐（2），氢气原料罐（1）、反应釜（3）、冷凝器（4）、中间罐（5）、氢气分离器（6）、二氧化碳吸附器（7）、氟碳吸附器（8）、脱气塔（9）、脱重精馏塔（10）、冷却器（11）、1#成品罐（12）、2#成品罐（13），其中，五氟乙烷原料罐（2）、氢气原料罐（1）分别连接反应釜（3）的两个进料口；冷凝器（4）的出料管分为两路，一路连接中间罐（5）的进料口，另一路连接二氧化碳吸附器（7）的进料口，冷凝器（4）的不凝气排气口连接氢气分离器（6）的进料口，氢气分离器（6）顶部的出料管连接反应釜（3）的进料口；二氧化...
【技术特征摘要】
1.一种电子级五氟乙烷的纯化装置，其特征在于，包括五氟乙烷原料罐（2），氢气原料罐（1）、反应釜（3）、冷凝器（4）、中间罐（5）、氢气分离器（6）、二氧化碳吸附器（7）、氟碳吸附器（8）、脱气塔（9）、脱重精馏塔（10）、冷却器（11）、1#成品罐（12）、2#成品罐（13），其中，五氟乙烷原料罐（2）、氢气原料罐（1）分别连接反应釜（3）的两个进料口；冷凝器（4）的出料管分为两路，一路连接中间罐（5）的进料口，另一路连接二氧化碳吸附器（7）的进料口，冷凝器（4）的不凝气排气口连接氢气分离器（6）的进料口，氢气分离器（6）顶部的出料管连接反应釜（3）的进料口；二氧化碳吸附器（7）的出料口连接氟碳吸附器（8）的进料口，氟碳吸附器（8）的出料管分为两路，一路连接1#成品罐（12）、另一路连接脱气塔（9）的进料口；脱气塔（9）的底部连接脱重精馏塔（10）的进料管，脱重精馏塔（10）出料管经过冷却器（11）后分为两路，一路连接2#成品罐（13），另一路连接中间罐（5）的进料口；中间罐（5）的出料管连接冷凝器（4）的进料口。
2.一种采用权利要求1所述的电子级五氟乙烷的纯化装置的纯化工艺，其特征在于，包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的纯化工艺，其特征在于，所述待纯化的五氟乙烷的指标为：o2＜500ppm，n2＜500ppm...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐浩洋，王鑫，都荣礼，丁晨，李汉生，
申请(专利权)人：山东东岳绿冷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。