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一种新型沟槽IGBT结构制造技术
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文档序号:41702138
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本申请实施例提供了一种新型沟槽IGBT结构,该结构通过减少栅极接触孔的方式,将对应的栅极沟槽中的多晶硅转变成第一发射极沟槽的多晶硅,从而减小栅极电容,使器件开通速度变快,降低开通损耗。...
该专利属于上海韦尔半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海韦尔半导体股份有限公司授权不得商用。
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