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本技术公开了一种用于PECVD工艺环境的硅片承载和传输装置，包括框体，所述框体由后板、长侧条板和前板拼接组成，在所述框体内设置第一长中条板和第二长中条板，所述第一长中条板和第二长中条板交叉拼接将所述框体分割成四个相同的区域，在整个框体上相应...
该专利属于捷造科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷造科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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