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本申请提供了一种光源对准的确定方法和装置、电子设备和存储介质，其中，该方法包括：获取由全息成像生成的干涉图样或对掩膜进行调整后的目标掩膜；根据所述干涉图样或所述目标掩膜，得到照射在光栅之后所检测到的透过所述光栅的光照强度；根据所述光照强度生...
该专利属于光科芯图(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光科芯图(北京)科技有限公司授权不得商用。

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