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滤光基板及其形成方法技术
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文档序号:41676129
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一种滤光基板及其形成方法,所述形成方法包括:提供基底和掩模板;在所述基底上形成第一光刻胶层;基于第一线宽,设定第一光强;以所述第一光强,通过掩模板,对所述第一光刻胶层进行曝光以形成第一光阻层;在所述基底上形成第二光刻胶层;基于第二线宽,设定...
该专利属于上海仪电显示材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海仪电显示材料有限公司授权不得商用。
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