下载沉积设备以及用于掩模组件的形状校正方法的技术资料

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公开了沉积设备以及用于掩模组件的形状校正方法。沉积设备包括:室;台,其中限定有台开口并且台设置在室内部;框架,设置在台上并且其中限定有与台开口对应的框架开口;掩模,联接到框架并且其中限定有与框架开口对应的多个沉积开口;沉积源,被配置为向框架...
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