下载堆叠管芯横向激发薄膜体声学谐振器(XBAR)滤波器的技术资料

文档序号:41671310

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一种堆叠管芯XBAR滤波器器件(600)包括:第一管芯(630),包含在第一表面上的一个或多个XBAR;第二管芯(640),包含在第二表面上的一个或多个XBAR;以及穿过第一管芯或第二管芯的一个或多个导电过孔(V1IN、V1OUT),其中,...
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