下载一种射频离子源启动灯丝装置的技术资料

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本发明涉及灯丝装置技术领域,且公开了一种射频离子源启动灯丝装置,包括外壳,所述外壳的外壁固定装配有支撑架,所述外壳的外壁贯穿有进气管,所述外壳的顶部固定装配有等离子体对接管。通过设置的固定圆盘、滑槽、安装孔、对接孔、卡销、卡孔装置,使得该启...
该专利属于厦门能谷涂层技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门能谷涂层技术有限公司授权不得商用。

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