【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及灯丝装置,具体为一种射频离子源启动灯丝装置。
技术介绍
1、在科技发展的过程中,为了能够得到与通过等离子体由自然产生的自然等离子体相同性质的物质,人们通常会通过科学手段以及设备来得到人工产生而成的实验室等离子体,而这一过程则需要使用到一种有限容积的等离子体发生器,统称为“射频离子源”,而此类设备的应用需要用到电力,因此还需要使用到一种启动灯丝装置。
2、传统的启动灯丝装置在使用过程中,由于装置内部的灯丝需要长时间接触到离子体环境,而由于长脉冲的等离子体环境具有辐射,因此会导致设备内部钨丝的腐蚀度以及氧化度速率加快,而钨丝的固定方式通常是通过螺丝来对其进行固定,在需要频繁更换钨丝的情况下增加了使用者的作业量,从而降低了传统启动灯丝装置的实用性,为此我们提出了一种射频离子源启动灯丝装置。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种射频离子源启动灯丝装置,具备实用性强、稳定性好、散热效果好的优点,解决了上述
技术介绍
所提出的问题。
2、本专利技术提供如下技术方案:
...【技术保护点】
1.一种射频离子源启动灯丝装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的外壁固定装配有支撑架(2),所述外壳(1)的外壁贯穿有进气管(3),所述外壳(1)的顶部固定装配有等离子体对接管(4),所述等离子体对接管(4)的中部开设有等离子射流口(5),所述外壳(1)的内壁固定装配有托盘(15),所述托盘(15)的顶部固定设有立柱(14),所述立柱(14)的顶端固定设有固定圆盘(6),所述固定圆盘(6)的中部开设有安装孔(21),所述安装孔(21)的内壁分别套接有卡簧(12)和集气槽(17),所述集气槽(17)的外壁固定设有卡销(18),所述集气槽(17)的外沿固定装配
...【技术特征摘要】
1.一种射频离子源启动灯丝装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的外壁固定装配有支撑架(2),所述外壳(1)的外壁贯穿有进气管(3),所述外壳(1)的顶部固定装配有等离子体对接管(4),所述等离子体对接管(4)的中部开设有等离子射流口(5),所述外壳(1)的内壁固定装配有托盘(15),所述托盘(15)的顶部固定设有立柱(14),所述立柱(14)的顶端固定设有固定圆盘(6),所述固定圆盘(6)的中部开设有安装孔(21),所述安装孔(21)的内壁分别套接有卡簧(12)和集气槽(17),所述集气槽(17)的外壁固定设有卡销(18),所述集气槽(17)的外沿固定装配有滑块(13),所述固定圆盘(6)的顶部开设有对接孔(20),所述对接孔(20)的内壁卡接有导电钨丝(11),所述导电钨丝(11)的外沿开设有卡孔(19),所述安装孔(21)的内壁开设有滑槽(7),所述进气管(3)位于外壳(1)内壁的一端固定套接有输气管(8),所述外壳(1)的内壁还固定设有密封环(9),所述密封环(9)的内壁固定装配有阻隔环(10),所述密封环(9)的内壁开设有集气槽(17),所述密封环(9)的底部内壁还固定装配有气流扇(16)。
2.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置,其特征在于:所述滑槽(7)的数量为四个,且滑槽(7)的内壁与滑块(13)的外壁滑动连接,所述对接孔(20)的两端分别与安装孔(21)的内壁和集气槽(17)的外壁搭接,所述卡孔(19)的直径与卡销(18)的直径相等。
3.根据权利要求1所述的一种射频离子源启动灯丝装置,其特征在于:所述安装孔(21)的内壁开设有通孔,且通孔的内壁与卡销(18...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏莎莎,林荣川,
申请(专利权)人:厦门能谷涂层技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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