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本发明公开了一种低温漂的应变片式压力传感器,包括外壳体、支撑块和敏感元件,敏感元件包括薄膜基底和敏感丝栅,所述薄膜基底由低弹性模量的材料制备,所述敏感元件沿薄膜基底一侧自中心区域向外分别设有温度补偿环形结构、内侧环向布置丝栅结构和外侧径向布...该专利属于河南驼人医疗器械集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南驼人医疗器械集团有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种低温漂的应变片式压力传感器,包括外壳体、支撑块和敏感元件,敏感元件包括薄膜基底和敏感丝栅,所述薄膜基底由低弹性模量的材料制备,所述敏感元件沿薄膜基底一侧自中心区域向外分别设有温度补偿环形结构、内侧环向布置丝栅结构和外侧径向布...