【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力传感器，具体为一种低温漂的应变片式压力传感器。
技术介绍
1、应变片式压力传感器是一种广泛应用于工业控制系统或医疗器械监测系统的压力传感器，其敏感元件通常由边缘固支的薄膜基底和附着在薄膜基底上的金属丝栅组成。当敏感元件受到压力作用时，薄膜基底会产生弯曲变形，通过测量金属丝栅上的相对电阻变化可以计算薄膜基底承载的压力大小。
2、在目前商用的应变片式压力传感器中，敏感元件薄膜基底的材料为金属或者陶瓷，其较高的弹性模量导致薄膜基底的弯曲刚度较大，使得传感器的测量灵敏度较低。为了提高传感器的灵敏度，人们可能会将薄膜基底材料替换为弹性模量较低的材料。然而，采用这种方案制备的压力传感器通常对温度较为敏感。这是因为随着薄膜基底弯曲刚度的降低，金属丝栅带来的附加约束需要被重点考虑。比如当温度升高时，由于金属丝栅布置方向不同，环向布置的金属丝栅上的电阻变化与径向布置的金属丝栅上的电阻变化不同，无法满足惠斯通全桥电路温度补偿条件，使得传感器的温度敏感系数过大。因此，目前市场上的应变片式压力传感器仍然难以满足在环境温度变化情况下...
【技术保护点】
1.一种低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，包括由上壳体与下壳体固定组装形成的外壳体，外壳体内部设有支撑块与敏感元件，所述敏感元件包括薄膜基底，沿所述薄膜基底一侧的中心区域设有分布区域为1.36-2.16mm的温度补偿环形结构，所述温度补偿环形结构用于调整传感器的温度敏感系数，所述温度补偿环形结构外周设有分布区域为r=2.195-2.65mm的内侧环向布置丝栅结构，所述内侧环向布置丝栅结构外周设有分布区域为r=3.4-4.2mm的外侧径向布置丝栅结构。
2.根据权利要求1所述的低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，所述外侧径向布置丝栅结构整体环绕内侧...
【技术特征摘要】
1.一种低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，包括由上壳体与下壳体固定组装形成的外壳体，外壳体内部设有支撑块与敏感元件，所述敏感元件包括薄膜基底，沿所述薄膜基底一侧的中心区域设有分布区域为1.36-2.16mm的温度补偿环形结构，所述温度补偿环形结构用于调整传感器的温度敏感系数，所述温度补偿环形结构外周设有分布区域为r=2.195-2.65mm的内侧环向布置丝栅结构，所述内侧环向布置丝栅结构外周设有分布区域为r=3.4-4.2mm的外侧径向布置丝栅结构。
2.根据权利要求1所述的低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，所述外侧径向布置丝栅结构整体环绕内侧环向布置丝栅结构，其栅长为0.6mm，两侧过渡段长度为0.1mm，栅宽为0.035mm，栅距为0.117mm；所述内侧环向布置丝栅结构两侧过渡段长度为0.1mm，栅宽为0.025mm，栅距为0.035mm，所述外侧径向布置丝栅结构和内侧环向布置丝栅结构的端部可相互连接构成惠斯通全桥电路。
3.根据权利要求2所述的低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，所述薄膜基底呈16×16mm长宽设置，厚度为0.21mm。
4.根据权利要求1所述的低温漂的应变片式压力传感器，其特征在于，所述薄膜基底采用聚酰亚胺、酚醛树脂、环氧树脂材料中的任意一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏业旺，周联巧，王树刚，李沁蓝，徐新凯，魏爽，张春柯，杨静，
申请(专利权)人：河南驼人医疗器械集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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