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公开了一种基板处理装置，其允许基板被支承在超薄加热板上以便与超薄加热板以接近的方式隔开。基板处理装置包括：加热板用于加热基板；以及贯通接近销，安装在加热板中以便穿过形成在加热板中的通孔，使得基板经由贯通接近销与加热板以间距隔开。...
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