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光照射装置具备：光输出部，其输出相干光；以及光学系统，其将从光输出部输出的光照射于对象物。光学系统具有：物镜，其使从光输出部输出的光在对象物聚光；以及偏振光变换部、相位变换部、及环形屏蔽，其设置于光输出部与对象物之间的光路上。偏振光变换部以...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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