温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种动铁式二维驱动微振镜，涉及微机电系统技术领域，包括结构部和线圈部，线圈部通电驱动结构部活动；结构部包括固定框架、可动镜面和永磁薄膜，可动镜面活动连接于固定框架内，永磁薄膜设置于可动镜面下方；线圈部包括线圈载体和线圈组，线圈载...
该专利属于深圳陕煤高新技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳陕煤高新技术研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。