一种动铁式二维驱动微振镜制造技术

本技术公开了一种动铁式二维驱动微振镜，涉及微机电系统技术领域，包括结构部和线圈部，线圈部通电驱动结构部活动；结构部包括固定框架、可动镜面和永磁薄膜，可动镜面活动连接于固定框架内，永磁薄膜设置于可动镜面下方；线圈部包括线圈载体和线圈组，线圈载体设置于固定框架下方，线圈组设置于永磁薄膜下方；其中，永磁薄膜设置有四组，线圈组的数量与永磁薄膜的数量相同。根据本技术的一种动铁式二维驱动微振镜，线圈组通电驱动永磁薄膜位移，从而带动可动镜面往指定方向活动，永磁薄膜体积小，减少热应力，且响应迅速，提高可动镜面运动精度。无快慢轴结构，全局对称结构，优化驱动系统结构，降低加工难度和成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微机电系统，特别涉及一种动铁式二维驱动微振镜。

技术介绍

1、微振镜是基于微纳工艺制备的光学扫描反射镜，在光通信、激光雷达、激光投影、医学成像等领域有广泛应用，主要通过位移反射光的路径。微振镜根据驱动方式分类有静电驱动、电热驱动、压电驱动和电磁驱动。静电驱动结构紧凑，但驱动力小。电热驱动虽然力大，但相应速度慢，不适合高速扫描的应用场景。压电驱动受制于压电薄膜的制备，且所需驱动电压比较大。电磁驱动的力和行程更大，且响应速度快，满足各类应用场景中大镜面、大扫描角的需求。

2、电磁驱动根据磁体或线圈的固定/运动状态，可分为动铁式和动圈式。由于磁铁体积大、加工难度高，市面所见的振镜几乎采用动圈式。另一方面，影响电磁驱动力的主要因素包括：磁场强度、电流幅值和驱动线圈匝数。在实际设计中，受限于材料性质以及器件尺寸要求，磁场强度往往难以提高，提升驱动电流的幅值可增大电磁驱动力，但也会增大器件的功耗，且驱动线圈发热累积的热量会引起热应力，进而影响动圈运动精度的控制。

3、中国专利cn 202211054408.8公开一种电磁mems微镜；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种动铁式二维驱动微振镜，包括结构部(100)和线圈部(200)，所述线圈部(200)通电驱动所述结构部(100)活动；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，对角线方向的两所述永磁薄膜(140)充磁方向相同，相邻的两所述永磁薄膜(140)充磁方向相反。

3.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，所述永磁薄膜(140)的充磁方向垂直于所述可动镜面(120)或所述线圈组(220)。

4.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，四组所述永磁薄膜(140)独立设置，四组所述线圈组(...

【技术特征摘要】

1.一种动铁式二维驱动微振镜，包括结构部(100)和线圈部(200)，所述线圈部(200)通电驱动所述结构部(100)活动；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，对角线方向的两所述永磁薄膜(140)充磁方向相同，相邻的两所述永磁薄膜(140)充磁方向相反。

3.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，所述永磁薄膜(140)的充磁方向垂直于所述可动镜面(120)或所述线圈组(220)。

4.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，四组所述永磁薄膜(140)独立设置，四组所述线圈组(220)独立设置，各所述永磁薄膜(140)分别对应一组所述线圈组(220)。

5.根据权利要求1所述的一种动铁式二维驱动微振镜，其特征在于，所述线圈组(220)为平面旋转对称结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：高寒，何志恒，
申请(专利权)人：深圳陕煤高新技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：