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本技术公开了半导体加工用输送装置，属于半导体加工领域，该装置包括风干箱，所述风干箱内部转动连接有传送带，所述传送带中间转动连接有转轴，所述转轴外壁圆周阵列有多组V型架，所述风干箱内部固定连接有多组风干罩，所述风干箱顶部设置有风筒，所述风筒内...
该专利属于合肥玖福半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥玖福半导体技术有限公司授权不得商用。

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