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本申请实施例公开了一种光掩模图案拆分方法、装置、电子设备及存储介质。该方案可以根据光掩模中的集成电路图案分布信息构建多个无向图,对多个无向图分别提取每个无向图对应的最小连通树及剩余边集合,遍历每个无向图的剩余边集合,并根据每条边对应的最小连...该专利属于华芯程(杭州)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华芯程(杭州)科技有限公司授权不得商用。
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