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本技术属于电子烟MEMS集成气压传感器技术领域，尤其是一种空气压力传感器的台阶式焊盘结构，针对现有现有技术中存在传统的MEMS气压传感器内部焊盘平面设计，封装胶体挤压，防水，防油性差；污染微机电传感器表面膜片，导致器件失效；散热能力有限的问...
该专利属于长沙大微半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙大微半导体有限公司授权不得商用。

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