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本发明提供一种MEMS大气电场传感器及其组装方法，涉及传感器技术领域。其中，在导电外壳的底部形成朝向其顶部的第一凹槽；导电部件置于第一凹槽的内部；绝缘部件置于第一凹槽的内部，并固定在导电部件的底部；中筒部件的至少一部分置于第一凹槽的内部，并...
该专利属于北京中科飞龙传感技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科飞龙传感技术有限责任公司授权不得商用。

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