MEMS大气电场传感器及其组装方法技术

本发明专利技术提供一种MEMS大气电场传感器及其组装方法，涉及传感器技术领域。其中，在导电外壳的底部形成朝向其顶部的第一凹槽；导电部件置于第一凹槽的内部；绝缘部件置于第一凹槽的内部，并固定在导电部件的底部；中筒部件的至少一部分置于第一凹槽的内部，并设置在绝缘部件的底部，其中，中筒部件的内部形成有第一内部腔体，在第一内部腔体中填充有粘合剂；MEMS电场测量模块呈垂直状被夹持在第一内部腔体的内部，并被粘合剂包裹，其中，MEMS电场测量模块包括与其连接的导线，导线的顶端依次贯穿中筒部件与绝缘部件后和导电部件连接。本发明专利技术可以缩小MEMS大气电场传感器的体积，增强MEMS电场测量模块的固定性能，提高MEMS电场测量模块的抗振动和抗冲击性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，尤其是一种mems大气电场传感器及其组装方法。

技术介绍

1、雷电灾害是联合国公布的十大自然灾害之一，雷电也是直接影响航天发射成败的重要天气因素，在航天器发射规范中，已经将大气电场强度列为航天器能否发射的主要条件之一。雷击可对电网造成严重的危害，包括线路跳闸、输变电设备故障、线路非计划停运等，都直接影响了电网的安全稳定运行和供电用电的安全可靠性。石油化工行业除采用大量对雷电非常敏感的电气电子设备及辅助设施外，生产过程中物料及成品储运很大部分都具有易燃易爆特点，是雷电灾害事故多发的敏感行业之一。目前，多是采用mems大气电场传感器对大气电场强度大小、极性等变化进行监测和分析，对可能造成雷击危险的大气电场变化加以识别，在灾害来临之前进行预警，对防雷减灾具有非常重要的意义，也是未来气象部门进行雷电等灾害性天气预报的发展趋势。

2、如图1所示，在公开(公告)号为cn107300642b的专利技术专利中公开了一种mems地面大气电场传感器，其包括导电外壳1`、腔体结构2`与mems电场测量模块3`，其中，mems电场测量模块3`位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS大气电场传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS大气电场传感器，其特征在于，所述第一凹槽中设有台阶部，所述台阶部将所述第一凹槽划分为第一区域与第二区域，其中，所述导电部件的外径与所述第一区域的内径相同，并与所述第一区域活动连接，所述第二区域围绕在所述第一内部腔体的外侧，且所述第二区域的内侧壁面与所述中筒部件的外侧壁面的至少一部分形成间隔区域。

3.根据权利要求2所述的MEMS大气电场传感器，其特征在于，所述导电部件包括底板、与所述底板连接的环状侧壁、以及与所述环状侧壁连接的上盖，所述底板、所述环状侧壁以及上盖形成第二内部腔体，其...

【技术特征摘要】

1.一种mems大气电场传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems大气电场传感器，其特征在于，所述第一凹槽中设有台阶部，所述台阶部将所述第一凹槽划分为第一区域与第二区域，其中，所述导电部件的外径与所述第一区域的内径相同，并与所述第一区域活动连接，所述第二区域围绕在所述第一内部腔体的外侧，且所述第二区域的内侧壁面与所述中筒部件的外侧壁面的至少一部分形成间隔区域。

3.根据权利要求2所述的mems大气电场传感器，其特征在于，所述导电部件包括底板、与所述底板连接的环状侧壁、以及与所述环状侧壁连接的上盖，所述底板、所述环状侧壁以及上盖形成第二内部腔体，其中，所述环状侧壁与所述第一区域活动连接，在所述底板上开设有第一通孔、以及与所述导线连接的导电固定位。

4.根据权利要求3所述的mems大气电场传感器，其特征在于，所述绝缘部件包括底座、由所述底座的顶部端面向上延伸的凸柱、以及依次贯穿所述底座与所述凸柱的内部的第二通孔，其中，所述凸柱置于所述第一通孔的内部，所述第二通孔的至少一部分置于所述第一通孔的内部。

5.根据权利要求4所述的mems大气电场传感器，其特征在于，所述中筒部件包括：

6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鹏飞，闻小龙，储昭志，刘宇涛，王宙玺，吴双，
申请(专利权)人：北京中科飞龙传感技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：