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本发明公开了一种具有温补特性的声表面波器件结构，包括电极层、压电薄膜和衬底，压电薄膜设于衬底上表面，电极层设置在压电薄膜表面。还包括温补层，所述温补层位于衬底与压电薄膜之间，或者温补层位于压电薄膜之上并将压电薄膜上表面和电极层覆盖，温补层采...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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