下载压力传感器芯片及其制造方法的技术资料

文档序号:41652135

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一种压力传感器芯片,包括差压敏感电阻、静压敏感电阻、第一感压膜和第二感压膜,差压敏感电阻与第二感压膜连接,静压敏感电阻与第一感压膜连接;定义垂直压力传感器芯片厚度方向的面为投影面,第二感压膜在所述投影面的正投影位于所述第一感压膜在所述投影面...
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