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一种检查装置包括辐射源、光学系统和检测器。辐射源生成辐射射束。光学系统沿着光轴并朝向目标引导射束，以便从目标产生散射辐射。该光学系统包括射束移位器，该射束移位器包括具有空间布置的四个反射表面。射束移位器沿着光轴接收射束；执行射束的反射以使射...
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