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本技术涉及加热器技术领域，且公开了耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器，包括加热机构和加强结构，加强结构固定连接于加热机构的内部，加热机构包括底承载板、加热腔体、钛加热器、温控面板和加热钛片组成，底承载板固定连接于加热机构的底部，加热腔体固...
该专利属于无锡市诚尚科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市诚尚科技有限公司授权不得商用。

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