耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器制造技术

技术编号:41646808 阅读:25 留言:0更新日期:2024-06-13 02:38
本技术涉及加热器技术领域,且公开了耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器,包括加热机构和加强结构,加强结构固定连接于加热机构的内部,加热机构包括底承载板、加热腔体、钛加热器、温控面板和加热钛片组成,底承载板固定连接于加热机构的底部,加热腔体固定连接于底承载板顶部的左侧。该耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器,通过设置有热传导垫配合氧化钛保护层将加热钛片进行隔离,形成对加热钛片的保护,防止内部在进行加热时,产生化学气体以及附着在加热钛片的表面造成腐蚀,以便于提高使用寿命,通过热反射层以及热传导垫的运用,提高钛加热器的传热效率,使钛加热器可以在1200℃以上的温度下工作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及加热器,具体为耐腐蚀抗氧化的高性能mocvd加热器。


技术介绍

1、金属有机化合物化学气相沉积简称为mocvd,是制备化合物半导体薄膜的一项关键技术。mocvd设备主要包括气路系统、加热系统、反应室和检测及控制系统等几个部分。其中加热系统主要是对反应发生的衬底进行加热,提供反应所需要的温度,必须满足加热均匀,升温降温速度快,温度稳定时间短等要求。

2、现有技术公开了申请号为:201720025960.2的一种mocvd加热器,包括石墨载片台、炉体、加热装置、支撑座、反射层、隔热层一、保温座、安装座、底座、隔热层二、电机、隔热连接套、隔热旋转座、连接导热件和导热套;本技术具有结构合理简单、生产成本低、安装方便,功能齐全,本技术中的加热体一与加热体二呈扇形均匀分布在加热壳体内部;无论使用加热体一或加热体二都能够使热量均匀地传递给石墨载片台,另外设置的电机能够有效地使石墨载片台进行旋转,从而使热量更加均匀传递给石墨载片台中,另外设置的反射层能够将加热体一和加热体二底部的热量反射到石墨载片台中,从而进一步地提高了加热的效率

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器,包括加热机构(1)和加强结构(2),其特征在于:所述加强结构(2)固定连接于加热机构(1)的内部;

2.根据权利要求1所述的耐腐蚀抗氧化的高性能MOCVD加热器,其特征在于:所述加强结构(2)由热传导垫(201)、氧化钛保护层(202)、石墨烯放置台(203)、连接轴承(204)、加热腔盖板(205)、握把(206)和热反射层(207)组成,所述热传导垫(201)固定连接于加热腔体(102)的内部,所述氧化钛保护层(202)固定连接于热传导垫(201)的内壁,所述石墨烯放置台(203)固定连接于加热腔体(102)的内底部,所述连接轴承...

【技术特征摘要】

1.耐腐蚀抗氧化的高性能mocvd加热器,包括加热机构(1)和加强结构(2),其特征在于:所述加强结构(2)固定连接于加热机构(1)的内部;

2.根据权利要求1所述的耐腐蚀抗氧化的高性能mocvd加热器,其特征在于:所述加强结构(2)由热传导垫(201)、氧化钛保护层(202)、石墨烯放置台(203)、连接轴承(204)、加热腔盖板(205)、握把(206)和热反射层(207)组成,所述热传导垫(201)固定连接于加热腔体(102)的内部,所述氧化钛保护层(202)固定连接于热传导垫(201)的内壁,所述石墨烯放置台(203)固定连接于加热腔体(102)的内底部,所述连接轴承(204)转动连接于加热腔体(102)的顶部,所述加热腔盖板(205)固定连接于连接轴承(204)的表面,所述握把(206)固...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨帆
申请(专利权)人:无锡市诚尚科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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