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本发明涉及半导体超声波检测技术领域，具体是涉及一种半导体缺陷检测用超声波检测设备，包括主机体、超声波检测组件、控制面板和推件组件，所述超声波检测组件包括有超声波检测头，所述超声波检测头用于发射和接收超声波，并将信号传送到控制面板中，所述主机...
该专利属于恒超源洗净科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恒超源洗净科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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