下载优化基板的固化工艺参数的方法、装置、设备及介质的技术资料

文档序号:41627052

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本发明涉及基板制备技术领域,公开了优化基板的固化工艺参数的方法、装置、设备及介质,方法包括:基于固化温度曲线,确定基板对应的最佳固化温度,固化温度曲线用于表征固化温度随升温速率变化的情况,固化温度曲线包括凝胶温度曲线、预固化温度曲线和后固化...
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