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一种封装结构以及封装方法,封装方法包括:提供载板;在载板上形成第一再布线结构,第一再布线结构包括第一区域和第二区域;在第一区域的第一再布线结构上形成导电柱,导电柱与第一再布线结构电连接;提供器件芯片,包括相对的第一面和第二面;将器件芯片的第...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种封装结构以及封装方法,封装方法包括:提供载板;在载板上形成第一再布线结构,第一再布线结构包括第一区域和第二区域;在第一区域的第一再布线结构上形成导电柱,导电柱与第一再布线结构电连接;提供器件芯片,包括相对的第一面和第二面;将器件芯片的第...