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本发明属于半导体材料技术领域，具体涉及一种锑化镓表面清洗液和采用该清洗液对锑化镓衬底进行清洗的方法。所述锑化镓表面清洗液由洗涤剂和水混合得到，所述洗涤剂和水的质量比为（8～15）：8，所述洗涤剂选自氢氧化铵、乙醇、醇醚、丙酮和异丙醇中的一种...
该专利属于青岛浩瀚全材半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛浩瀚全材半导体有限公司授权不得商用。

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