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本发明涉及一种MEMS芯片及电容式MEMS麦克风，MEMS芯片包括：基底；背板，背板边缘通过至少三个第一引脚与基底连接，至少三个第一引脚沿背板周向间隔分布；分布于背板两侧的两层振膜，振膜在与背板平面垂直的方向与背板间隔设置，振膜边缘通过至少...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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