下载一种氧化镓单晶生长的加热功率匹配方法、装置和设备的技术资料

文档序号:41615211

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本申请提供了一种氧化镓单晶生长的加热功率匹配方法、装置和设备,涉及单晶生长技术领域,该方法为:对单晶炉进行几何建模和网格划分,设置边界条件和控制方程,得到传热流动数值模型;通过传热流动数值模型,模拟在目标功率配比下,按照设定的降温速率方案,...
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