下载半导体器件、n型MOS晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:4160597

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一种半导体器件、n型MOS晶体管及其制作方法,其中半导体器件包括:半导体衬底;依次位于半导体衬底的输入/输出器件区域的栅介质层、栅极、以及侧墙;位于输入/输出器件区域的n型MOS晶体管区域和p型MOS晶体管区域的半导体衬底内的低掺杂源/漏区...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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