下载一种氮化镓基垂直腔面发射激光器及其制备方法的技术资料

文档序号:41595979

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本发明公开了一种氮化镓基垂直腔面发射激光器及其制备方法。根据所述激光器的外延片的生长方向依序包括:曲面介质膜DBR、谐振腔介质、平面介质膜DBR;所述激光器还包括:设置于曲面介质膜DBR一侧的平面基板;所述平面基板用于支撑所述氮化镓基垂直腔...
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