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本发明提供一种提升电涡流终点检测稳定性的方法，包括获取电涡流终点检测的固定涡流电压和固定研磨终点厚度；在同一固定涡流电压下，收集不同寿命抛光垫对应的电涡流终点检测的实际研磨终点厚度；计算实际研磨终点厚度与固定研磨终点厚度的偏差值，并将偏差值...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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