下载一种基于CCD相机的光束均匀性测试装置及测试方法的技术资料

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本发明公开了一种基于CCD相机的光束均匀性测试装置及测试方法,光束均匀性测试装置包括CCD相机,入射光经过光束准直调整机构准直后进入准直镜,准直后的光线经过光阑限制后进入分光镜,所述CCD相机的前方设置有衰减镜,经过所述分光镜的反射光经过衰...
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