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本发明公开了一种搭载晶圆片规格可调的硅舟，包括安装板和安装于两个安装板之间的三个沟棒，还包括设有内螺纹孔的定位块沟棒包括沟齿段，所述沟齿段两端为承接柱，承接柱远离沟齿段一侧具有螺纹柱，所述安装板开设有安装孔和两个相互垂直的滑移槽，所述安装孔...
该专利属于浙江盾源聚芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江盾源聚芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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