温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

[课题]提供保存稳定性优异、高敏感度、高分辨力的抗蚀剂用聚合物。[解决手段]基于本发明的聚合物包含具有酚式羟基的结构单元和具有羧酸被缩醛基保护的结构的结构单元。...
该专利属于丸善石油化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丸善石油化学株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。