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一种半导体结构,包括衬底,衬底包括单元区和周边区。周边区包括隔离结构。多个插塞结构设置在单元区和周边区上。绝缘结构介于插塞结构之间。电容结构设置在单元区的插塞结构上。插塞结构包括至少一个设置在周边区的隔离结构上的孤立插塞结构,其中绝缘结构位...该专利属于福建省晋华集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构,包括衬底,衬底包括单元区和周边区。周边区包括隔离结构。多个插塞结构设置在单元区和周边区上。绝缘结构介于插塞结构之间。电容结构设置在单元区的插塞结构上。插塞结构包括至少一个设置在周边区的隔离结构上的孤立插塞结构,其中绝缘结构位...