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本发明提供一种显影液中胶体监控方法、化垢组合物以及监控系统,根据显影液中胶体的界达电位分布变化及粒径分布变化发出更换显影液的警示讯息,可作为判断显影程序是否需停机进行清理并更换显影液的参考指标。化垢组合物可抑制显影液中胶体的聚集与尺寸增长,...该专利属于太仓信科电子化学制剂有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过太仓信科电子化学制剂有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种显影液中胶体监控方法、化垢组合物以及监控系统,根据显影液中胶体的界达电位分布变化及粒径分布变化发出更换显影液的警示讯息,可作为判断显影程序是否需停机进行清理并更换显影液的参考指标。化垢组合物可抑制显影液中胶体的聚集与尺寸增长,...