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本发明涉及基于TRACK机台的晶圆传送方法，读取LOADPORT上晶圆信息，根据读取的晶圆信息得到每个晶圆槽状态并显示；接收人机界面交互的第一触发指令，根据第一触发指令选择相应的Wafer，并设置为起始Wafer，读取起始Wafer对应的起...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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