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本技术公开了一种刻蚀装置和等离子刻蚀系统，包括：进气管，具有进口和出口；反应腔主体，具有用于放置待刻蚀件的反应腔；喷嘴，一端与进气管的出口连通，另一端与反应腔内连通，喷嘴密封嵌入反应腔主体，进气管与喷嘴密封安装，进气管与反应腔主体密封连接，...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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