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本发明提供一种单元型横向激励谐振器及其制作方法，该谐振器包括衬底、压电薄膜及电极层，其中，衬底中形成有空气腔，压电薄膜及电极层均位于衬底上方，压电薄膜具有多个在第一方向上间隔排列且沿第二方向延伸的释放槽，第二方向垂直于第一方向，释放槽与空气...
该专利属于上海馨欧集成微电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海馨欧集成微电有限公司授权不得商用。

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